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                            您的位置:網站首頁 ? 產品中心 ? HORIBA質量流量控制器
                            HORIBA質量流量控制器

                            LF-F/LV-F 液體微小質量流量計/控制器

                            產品分類:HORIBA質量流量控制器

                            產品介紹

                            概要

                            搭載采用了冷卻檢測方式的流量傳感器

                            特征

                            • 通過采用數字回路,實現了高精度?高速響應。
                            • 可以進行微升以上的微小流量控制。
                            • 可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
                            • 超潔凈類型

                            規格

                             

                            名稱

                            質量流量計

                            型號

                            LF-F20M-A

                            LF-F30M-A

                            LF-F40M-A

                            LF-F50M-A

                            LF-F60M-A

                            全標度流量(g/min)

                            0.02/0.05/0.1

                            0.2/0.5

                            1/2/5

                            10/20

                            50/100

                            檢測控制范圍

                            5?100% F.S.

                            對象液體種類 *1

                            可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

                            液體粘度 *2

                            最大值. 0.1 Pa·s (100cp)

                            精度 *3

                            ±1% F.S.

                            直線性 *3

                            ±0.5% F.S.

                            重復性 *3

                            ±0.5% F.S.

                            響應精度

                            3秒以內 (T98)

                            2秒以內 (T98)

                            使用環境溫度 *4

                            5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)

                            溫度影響 Span

                            ±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

                            工作差壓值值 *5

                            最大值. 5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo 控制閥)

                            耐壓

                            10MPa (視為流量計)

                            壓力損失

                            最大值. 500Pa

                            流量設定信號

                            模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式:RS485(F-Net通信協議)

                            流量輸出信號

                            模擬:0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式:RS485(F-Net通信協議)

                            驅動電源

                            +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

                            外部泄漏規格

                            5×10-12Pa·m3/s (He)

                            接液部材質

                            SUS316L, Ni

                            標準接頭

                            1/16” , 1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

                            1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

                            1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型

                            名稱

                            質量流量控制器

                            型號

                            LV-F20 (PO/MO)

                            LV-F30 (PO/MO)

                            LV-F40 (PO/MO)

                            LV-F50 (PO/MO)

                            LV-F60 (PO/MO)

                            全標度流量(g/min)

                            0.02/0.05/0.1

                            0.2/0.5

                            1/2/5

                            10/20

                            50/100

                            檢測控制范圍

                            5?100% F.S.

                            對象液體種類 *1

                            可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

                            液體粘度 *2

                            最大值. 0.01 Pa·s (10cp)

                            精度 *3

                            ±1% F.S.

                            直線性 *3

                            ±0.5% F.S.

                            重復性 *3

                            ±0.5% F.S.

                            響應精度

                            3秒以內 (T98)

                            2秒以內 (T98)

                            使用環境溫度 *4

                            5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)

                            溫度影響Span

                            ±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

                            工作差壓值 *5

                            0.05?0.3MPa

                            耐壓

                            1MPa

                            壓力損失

                            流量設定信號

                            模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數字式:RS485(F-Net通信協議)

                            流量輸出信號

                            模擬:0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式:RS485(F-Net通信協議)

                            驅動電源

                            +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

                            外部泄漏規格

                            PO 類型:1×10-8Pa•m3/s (He) MO 類型: 5×10-12Pa•m3/s (He)

                            接液部材質

                            PO 類型:SUS316L, Ni, PTFE, PFA MO 類型: SUS316L,Ni

                            標準接頭

                            1/16” , 1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

                            1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

                            1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型

                            *1: LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正 (請預先指定所使用 的液體。)
                            ?不能檢測含有固體物的液體。
                            ?如果混合液中混合比會發生變化時,請預先進行咨詢協商。
                            ?LV-F系列質量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時,請在一次端(入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
                            *2: LF-F類型質量流量控制器根據流量量程,可以適用到 最大值, 0.1Pa•s。有關高粘度的液體請預先進行咨詢協商。
                            *3: 以SEMI E56-1296 為準。
                            *4: 進行測量?控制的液體溫度如果低于環境溫度時,使用時請把溫差控制在10℃以 內;如果高于液體溫度時,使用時請把溫差控制在3℃以內。
                            *5:這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。

                             

                            上一個 Aera FC-7700CD質量流量控制器
                             
                            返回上頁 返回上頁
                             
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                            SEC-400MK3質量流量控制器 下一個
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